表面分析技术系指测量时，能控制讯号来自材料之表面浅层的一种分析技术。常见的方法多以测量来自表面的光子、电子或离子讯号。一般来说，光子以掠角（Grazing-incident angle）入射进入材料表面时，可取得仅来自表面浅层之讯号。电子与离子讯息则因能逃脱出材料的，皆来自浅层表面，因而其探测深度分别约为数埃（与电子能量有关）与表面一至二层原子深度。
另见材料科学
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